İçindekiler:
- Tanım - Mikro-Elektromekanik Sistem (MEMS) ne anlama geliyor?
- Techopedia Mikro-Elektromekanik Sistemi (MEMS) açıklıyor
Tanım - Mikro-Elektromekanik Sistem (MEMS) ne anlama geliyor?
Mikro-elektromekanik sistem (MEMS) elektrikle çalışan küçük bir mekanik modüldür. NEMS, bilgisayarları sensörler, aktüatörler ve aynalar gibi mekanik modüllerle birleştirir. Modifiye cihaz üretim teknolojisini kullanan uygun maliyetli sistemlerdir.
MEMS çeşitli kullanımlara sahiptir ve çeşitli bileşenlerden, minyatürleştirmeden ve yeni standart entegre elektromekanik sistemlerden faydalanarak çok çeşitli imalat tasarım yaklaşımlarına sahiptir. MEMS, potasyum hidroksit (KOA) gibi ıslak dağlama, derin reaktif iyon dağlama (DRIE), kalıplama ve kaplama, elektro deşarj makineleri (EDM) ve küçük cihazlar üreten diğer teknolojiler gibi kuru dağlama için kullanılabilir.
Bir mikro-elektromekanik sistem, bir mikroelektronik sistem, bir mikro makine, mikrosistem teknolojisi veya akıllı madde olarak da ifade edilebilir.
Techopedia Mikro-Elektromekanik Sistemi (MEMS) açıklıyor
MEMS, bir insan saçı genişliğinden daha küçük olabilir ve aşağıdakiler gibi çeşitli bileşenler içerebilir:
- Mikroduyarlar
- Mikrouyarıcılar
- Mikroişlemciler
- Verileri işlemek için merkezi birimler
- Dış elemanlarla etkileşim için bileşenler
MEMS geniş bir yüzey alanına / hacim oranına sahiptir ve silikon üretim teknolojisi kullanılarak inşa edilmiştir.
Bir MEMS cihazı, mekanik bileşenlerle kullanılan küçük bir silikon çip üzerine yerleştirilmiş mikro devre içerir. Teknoloji, bir dizi veya bireysel olarak çalışırken mekanik süreçleri kontrol eden, algılayan veya etkinleştiren çok çeşitli cihazları destekler.
Halen, MEMS, mimarilerine tek bir ayrı mikro-mikro veya mikro aktüatör içermektedir, ancak gelecekte daha karmaşık asimilasyon seviyeleri ortaya çıkabilir. Bir sonraki gelişme, birçok bireysel özelliği bir sisteme dahil etmek olabilir.
