İçindekiler:
Tanım - Nanolitografi ne anlama geliyor?
Nanolithografi, nanoteknolojinin bir dalıdır ve inanılmaz derecede küçük yapılar oluşturmak için desenleri mikroskopik düzeyde bastırma, yazma veya dağlama işleminin adıdır. Bu işlem tipik olarak mikro / nanoçipler ve işlemciler gibi daha küçük ve daha hızlı elektronik cihazlar oluşturmak için kullanılır. Nanolitografi, esas olarak elektronikten biyomedikal'e kadar teknolojinin çeşitli sektörlerinde kullanılmaktadır.Techopedia, Nanolitgrafiyi açıklıyor
Nanolitografi, en yaygın olanları yarı iletken malzeme silikonu olan farklı ortamlarda nano ölçekli desenler oluşturmak için çeşitli işlemleri tanımlamak için kullanılan geniş bir terimdir. Nanolitografinin baskın amacı, daha fazla elektronik parçanın daha küçük alanlara sıkışmasına izin veren elektronik cihazların daralmasıdır, yani daha az malzeme gerektiğinden daha hızlı ve daha ucuz olan daha küçük cihazlarla sonuçlanan daha küçük entegre devreler. Bu aynı zamanda performans ve tepki sürelerini de arttırır çünkü elektronların sadece çok kısa mesafeler kat etmesi gerekir.
Nanolitografide kullanılan bazı teknikler şunlardır:
- X-ışını litografisi - Yakın baskı yöntemiyle uygulanır ve Fresnel kırınımındaki yakın alan X-ışınlarına dayanır. Optik çözünürlüğünü 15 nm'ye kadar uzattığı bilinmektedir.
- Çift desen - Aynı katmanda önceden yazdırılmış desenlerin boşlukları arasına ek desenler yazdırarak litografik bir işlemin eğim çözünürlüğünü artırmak için kullanılan bir yöntem.
- Elektron ışını doğrudan yazma (EBDW) litografisi - Litografide kullanılan ve desen oluşturmak için bir elektron demeti kullanan en yaygın işlemdir.
- Aşırı ultraviyole (EUV) litografi - 13, 5 nm'lik ultra kısa ışık dalga boylarını kullanan bir optik litografi formu.
